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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技... 详情>>概念解析 - 发展历史 - 系统优点 - 系统特点 - 全部

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